清洗仪

清洗系统:

2种清洗模式 真空清洗和真空储存 清洗时间范围为1min-24h

真空系统:

分子泵 2min内达到所需真空度 真空范围为100-500torr(Zone SEM)  

清洗仓:

样品尺寸: 100mm (直径) x 37mm (高) 适合于日立I型和II型扫描电镜 有效清理区域达100 mm