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GVC-3000T高真空热蒸发镀碳仪
描述
全自主支持产权
效率更高、颗粒更细,膜厚更均匀
应用领域:
EDS样品制备
EBSD样品制备
MLA系统样品制备
其它需要制备碳膜的领域
技术参数:
人机界面
7英寸TFT彩色液晶触摸屏
蒸发源
高纯碳纤维(选配碳棒)
蒸发源数量
1-4根(更多请咨询厂家)
工作模式
连续、脉冲
操作方式
全自动一键操作
真空系统
涡轮分子泵+旋片泵
极限真空
≤5E-3Pa
工作真空
<0.1Pa
抽气节拍
<3分钟
真空室
~φ170×130mm
其它
样品台旋转、样品温度检测、蒸发除气等