图像获取:全自动获取图像功能
算法优化:获得优质图像的效率提升明显;
超大样品仓:最大可容纳φ200的样品;
自动聚焦:全自动聚焦;
发射源:自动监测与控制;
探测器:SE/BSE(五分割)/UVD(低真空探测器)/红外CCD;
能谱:SEM/EDS一体化功能
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